实验室简介

LABORATORY INTRODUCE

江苏省薄膜材料重点实验室(江苏省重点实验室)于1993年正式获批建设。实验室主要从事薄膜和微纳结构材料的制备、结构和性能的基础性研究,以及理论研究,并积极开发它在各方面应用的关键技术和工艺,是江苏省功能薄膜材料研究及高层次人才培养的基地。经过多年的建设和运行,实验室拥有了多种材料制备设备,如微波ECR等离子体化学气相沉积系统、化学气相沉积系统、多靶磁控溅射系统、脉...

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