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射频放电实验一室

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1. 容性/感性耦合等离子体放电装置

该装置原为中科院产的ICP-98A型等离子体刻蚀机,现通过改装可以实现感性和容性互换的等离子体发生装置,同时配备有朗缪尔探针和高分辨发射光谱仪等诊断设备。具体参数如下:

感应模式:

     激发频率为13.56MHz,最大输入功率为1500W;

     下极板(衬底)的激发频率为2MHz-13.56MHz,最大功率输出为500W;

     本底真空:5.0*10-3Pa。

容性模式:

     上极板激发频率为:27MHz-150MHz,最大功率输出为500W;

     下极板(衬底)的激发频率为2MHz-13.56MHz,最大功率输出为500W;

     本底真空:5.0*10-3Pa。

       

 

2. 射频水下放电装置

激发频率13.56MHz-60MHz,最大输出功率为200W;

水溶液的电导率小于1000uS;

       

 

安全负责人:辛煜 教授

联系方式:

xylzf_1999@suda.edu.cn

13913549830,67872902

 

 

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