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射频等离子体放电与应用

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辛煜 教授的课题组重在使用等离子体诊断手段(朗缪尔探针、微波吸收探针、高分辨发射光谱、四极质谱等)研究不同激发频率下容性或感性等离子体的放电特性,并对两种激发模式下的等离子体在表面刻蚀、多晶硅制绒方面进行应用探索,研究内容包括:

1)射频等离子体放电与诊断

2)等离子体与材料表面相互作用

3)低温等离子体薄膜生长与材料加工

 

          

 

项目资助情况:

1).多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究,国家自然科学基金项目,项目编号10305008,(2004.1-2006.12),负责人,已结题;

2).甚高频阵列式容性耦合等离子体源的放电特性及均匀性研究,国家自然科学基金项目,项目编号10775103,(2008.1-2010.12),负责人,已结题;

3).低气压多频等离子体与材料表面的相互作用,国家自然科学基金项目,项目编号106350102007.1-2010.12),该课题为大连理工大学、苏州大学、中国科技大学相关课题组的联合课题,本人在本校课题组中排名第二;

4).亮铬的感应耦合等离子体刻蚀工艺开发,横向课题,项目编号:07108012007.1-2007.12),经费来源:苏大维格数码光学科技有限公司,负责人,已完成;

5).大面积栅型射频感应耦合等离子体在太阳能电池片表面织构化的应用研究,江苏省省科技厅前瞻性产学研联合创新资金项目,项目编号:BY20101252010.7-2012.6),负责人,课题进行中。

 

联系方式:

辛煜

xylzf_1999@suda.edu.cn,

0512-67872902, 13913549830

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